Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02337554
Soumis le : mardi 29 octobre 2019-15:03:44
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:26:09
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02337554 , version 1
Citer
Emilie Despiau-Pujo. A brief overview on Molecular Dynamics simulations of plasma-surface interaction in reactive ion etching. 66th American Vacuum Society (AVS) International Symposium, Oct 2019, Columbus, United States. ⟨hal-02337554⟩
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