Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02117215
Soumis le : jeudi 2 mai 2019-10:10:57
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:17:36
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02117215 , version 1
Citer
Bernard Pelissier. Quasi insitu XPS characterization applied to PEALD selective deposition of TiO2 - The IMPACT 300mm project and platform: merging academic research and industrial applications in microelectronic. 30th World Nano Conference, May 2019, Zurich, Switzerland. ⟨hal-02117215⟩
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