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Communication dans un congrès

Quasi insitu XPS characterization applied to PEALD selective deposition of TiO2 - The IMPACT 300mm project and platform: merging academic research and industrial applications in microelectronic

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02117215
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 2 mai 2019 - 10:10:57
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:02:40

Identifiants

  • HAL Id : hal-02117215, version 1

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Citation

Bernard Pelissier. Quasi insitu XPS characterization applied to PEALD selective deposition of TiO2 - The IMPACT 300mm project and platform: merging academic research and industrial applications in microelectronic. 30th World Nano Conference, May 2019, Zurich, Switzerland. ⟨hal-02117215⟩

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