Modeling and Integration Phenomena of metal-metal direct bonding technology - Université Grenoble Alpes
Article Dans Une Revue ECS Transactions Année : 2014

Modeling and Integration Phenomena of metal-metal direct bonding technology

Domaines

Mécanique des matériaux [physics.class-ph] Physique Générale [physics.gen-ph]

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hal-02016543 , version 1 (12-02-2019)

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Citer

L. Di Cioccio, F. Baudin, P. Gergaud, V. Delaye, Pierre-Henri Jouneau, et al.. Modeling and Integration Phenomena of metal-metal direct bonding technology. ECS Transactions, 2014, 64 (5), pp.339-355. ⟨10.1149/06405.0339ecst⟩. ⟨hal-02016543⟩

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