Direct Bonding Mechanism of ALD-Al 2 O 3 Thin Films - Université Grenoble Alpes
Article Dans Une Revue ECS Journal of Solid State Science and Technology Année : 2015

Direct Bonding Mechanism of ALD-Al 2 O 3 Thin Films

Domaines

Mécanique des matériaux [physics.class-ph] Physique Générale [physics.gen-ph]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02016525

Soumis le : mardi 12 février 2019-17:05:29

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Dates et versions

hal-02016525 , version 1 (12-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02016525 , version 1

Citer

E. Beche, F. Fournel, V. Larrey, F. Rieutord, C. Morales, et al.. Direct Bonding Mechanism of ALD-Al 2 O 3 Thin Films. ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2015, 4 (5), pp.P171-P175. ⟨hal-02016525⟩

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