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Article dans une revue

Direct Bonding Mechanism of ALD-Al 2 O 3 Thin Films

Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02016525
Contributeur : Francois Rieutord <>
Soumis le : mardi 12 février 2019 - 17:05:29
Dernière modification le : mercredi 19 août 2020 - 10:26:39

Identifiants

  • HAL Id : hal-02016525, version 1

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Citation

E. Beche, F. Fournel, V. Larrey, F. Rieutord, C. Morales, et al.. Direct Bonding Mechanism of ALD-Al 2 O 3 Thin Films. ECS Journal of Solid State Science and Technology, IOP Science, 2015, 4 (5), pp.P171-P175. ⟨hal-02016525⟩

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