(Invited) Defect Evolution during Silicon Smartcut  - Université Grenoble Alpes
Article Dans Une Revue ECS Transactions Année : 2016

(Invited) Defect Evolution during Silicon Smartcut 

Domaines

Mécanique des matériaux [physics.class-ph] Physique Générale [physics.gen-ph]

FRANCOIS RIEUTORD  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

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hal-01974469 , version 1 (08-01-2019)

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Citer

F. Rieutord, S. Tardif, F. Mazen, D. Landru, O. Kononchuk. (Invited) Defect Evolution during Silicon Smartcut . ECS Transactions, 2016, 75 (4), pp.155-160. ⟨10.1149/07504.0155ecst⟩. ⟨hal-01974469⟩

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