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Communication dans un congrès

Etude des phénomènes de physisorption d’espèces chimiques sur des plaques de Si 300mm lors des transferts en mini-environnement contrôlés entre équipements en microélectronique

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01961093
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018 - 16:57:26
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:02:57

Identifiants

  • HAL Id : hal-01961093, version 1

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Citation

G. Beainy, H. Fontaine, S. Cetre, C. Petit-Etienne, S. Labau, et al.. Etude des phénomènes de physisorption d’espèces chimiques sur des plaques de Si 300mm lors des transferts en mini-environnement contrôlés entre équipements en microélectronique. ELSPEC 2018, Jun 2018, Biarritz, France. ⟨hal-01961093⟩

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