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Communication dans un congrès

PAR-XPS investigations of ultrathin SiO2 layers grown by PEALD on SiGe and Ge

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960779
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018 - 15:31:02
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:34

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960779, version 1

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Citation

M. A. Mahjoub, B. Pelissier, S. Labau, F. Bassani, T. Baron. PAR-XPS investigations of ultrathin SiO2 layers grown by PEALD on SiGe and Ge. ECASIA 2017, Sep 2017, Montpellier, France. ⟨hal-01960779⟩

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