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Communication dans un congrès

New approach for physico-chemical control of sensible surfaces during transfer and storage between steps in microelectronic

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960739
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018 - 15:19:46
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:34

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960739, version 1

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Citation

B. Pelissier, S. Labau, M. Martin, J. Moeyaert, C. Beitia, et al.. New approach for physico-chemical control of sensible surfaces during transfer and storage between steps in microelectronic. ECASIA 2017, Sep 2017, Montpellier, France. ⟨hal-01960739⟩

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