New approach for physico-chemical control of sensible surfaces during transfer and storage between steps in microelectronic - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2017

New approach for physico-chemical control of sensible surfaces during transfer and storage between steps in microelectronic

Domaines

Physique [physics]

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960739

Soumis le : mercredi 19 décembre 2018-15:19:46

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:22

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01960739 , version 1 (19-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960739 , version 1

Citer

B. Pelissier, S. Labau, M. Martin, J. Moeyaert, C. Beitia, et al.. New approach for physico-chemical control of sensible surfaces during transfer and storage between steps in microelectronic. ECASIA 2017, Sep 2017, Montpellier, France. ⟨hal-01960739⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS LTM NANOMATERIALS DRT LETI CEA-GRE
41 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More