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Communication dans un congrès

ASD process using ALD, etching (plasma or ALE) and surface passivation

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960479
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018 - 14:16:41
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:34

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960479, version 1

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Citation

C. Vallee, R. Vallat, R. Gassilloud, V. Pesce, N. Posseme, et al.. ASD process using ALD, etching (plasma or ALE) and surface passivation. ASD18 – 3rd area selective deposition workshop, Apr 2018, Raleigh (USA), United States. ⟨hal-01960479⟩

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