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Communication dans un congrès

Influence of low and medium ion energy in PEALD processes

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01959057
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 18 décembre 2018 - 14:15:21
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:34

Identifiants

  • HAL Id : hal-01959057, version 1

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Citation

M. Bonvalot, C. Vallee, S. Belhacen, V. Pesce, A. Chaker, et al.. Influence of low and medium ion energy in PEALD processes. 18th International Conference on Atomic layer Deposition (ALD2018), Jul 2018, Incheon, South Korea. ⟨hal-01959057⟩

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