Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Poster

Dry etching challenges for high- block copolymers

Type de document :
Poster
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01954878
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : vendredi 14 décembre 2018 - 08:45:36
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:02:22

Identifiants

  • HAL Id : hal-01954878, version 1

Citation

P. Bézard, X. Chevalier, C. Navarro, C. Nicolet, G. Fleury, et al.. Dry etching challenges for high- block copolymers. European Mask and Lithography Conference - EMLC 2018, Jun 2018, Grenoble, France. ⟨hal-01954878⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

35