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Communication dans un congrès

FEM simulation of charging effect during SEM metrology

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01942831
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : lundi 3 décembre 2018 - 14:48:07
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:28

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Duy Duc Nguyen, Jean-Herve Tortai, Mohamed Abaidi, Patrick Schiavone. FEM simulation of charging effect during SEM metrology. 34th European Mask and Lithography Conference, Jun 2018, Grenoble, France. ⟨10.1117/12.2326609⟩. ⟨hal-01942831⟩

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