Communication Dans Un Congrès
Année : 2018
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01942831
Soumis le : lundi 3 décembre 2018-14:48:07
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:29
Citer
Duy Duc Nguyen, Jean-Herve Tortai, Mohamed Abaidi, Patrick Schiavone. FEM simulation of charging effect during SEM metrology. 34th European Mask and Lithography Conference, Jun 2018, Grenoble, France. ⟨10.1117/12.2326609⟩. ⟨hal-01942831⟩
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