Fabrication and characterization of horizontal and vertical GeSn nanowires using a “top-down” approach for future CMOS generations
E. Eustache
(1)
,
S. Labau
(1)
,
T. Haffner
(1)
,
M.A. Mahjoub
(1)
,
J. Aubin
,
J. M. Hartmann
,
F. Bassani
(1)
,
S. David
(1)
,
T. Baron
(1)
,
B. Salem
(1)
J. Aubin
- Fonction : Auteur
J. M. Hartmann
- Fonction : Auteur
F. Bassani
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1188804
- IdHAL : franck-bassani
S. David
- Fonction : Auteur
- PersonId : 742757
- IdHAL : sylvain-david-in2p3
T. Baron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739925
- IdHAL : thierry-baron
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- IdRef : 130661813
B. Salem
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : bassem-salem
- ORCID : 0000-0001-8038-3205
- IdRef : 092216625