Communication Dans Un Congrès
Année : 2017
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01927704
Soumis le : mardi 20 novembre 2018-09:40:23
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:20:06
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01927704 , version 1
Citer
R. Soriano Casero, L. Vallier, G. Cunge, O. Joubert, N. Sadeghi. Real time monitoring of NF3, NH3 and HF densities in the downstream of a soft-etch reactor by VUV Broad-Band absorption spectroscopy. 12th Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics, Apr 2017, Zlatibor, Serbia. ⟨hal-01927704⟩
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