Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Communication dans un congrès

Real time monitoring of NF3, NH3 and HF densities in the downstream of a soft-etch reactor by VUV Broad-Band absorption spectroscopy

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01927704
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 20 novembre 2018 - 09:40:23
Dernière modification le : mardi 6 octobre 2020 - 16:30:03

Identifiants

  • HAL Id : hal-01927704, version 1

Collections

Citation

R. Soriano Casero, L. Vallier, G. Cunge, O. Joubert, N. Sadeghi. Real time monitoring of NF3, NH3 and HF densities in the downstream of a soft-etch reactor by VUV Broad-Band absorption spectroscopy. 12th Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics, Apr 2017, Zlatibor, Serbia. ⟨hal-01927704⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

19