Procédé d’élaboration de nanofils horizontaux sur un diélectrique - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2007

Procédé d’élaboration de nanofils horizontaux sur un diélectrique

Domaines

Physique [physics] Matière Condensée [cond-mat] Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Génie des procédés Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01906181

Soumis le : vendredi 26 octobre 2018-14:57:29

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:16

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01906181 , version 1 (26-10-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01906181 , version 1

Citer

B. Salem, T. Baron, P. Gentile, P. Ferret, T. Ernst. Procédé d’élaboration de nanofils horizontaux sur un diélectrique. France, N° de brevet: N° 07 08351. 2007. ⟨hal-01906181⟩

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