Brevet
Année : 2010
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01906106
Soumis le : vendredi 26 octobre 2018-14:20:28
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01906106 , version 1
Citer
O. Joubert, T. Chevolleau, G. Cunge. Method of etching using a multi layer structure. United States, Patent n° : WIPO Patent Application WO/2010/029138. 2010. ⟨hal-01906106⟩
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