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Brevet

Method of etching using a multi layer structure

Type de document :
Brevet
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01906106
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : vendredi 26 octobre 2018 - 14:20:28
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01906106, version 1

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Citation

O. Joubert, T. Chevolleau, G. Cunge. Method of etching using a multi layer structure. United States, Patent n° : WIPO Patent Application WO/2010/029138. 2010. ⟨hal-01906106⟩

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