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Brevet

Procédé microélectronique de gravure d'une couche

Type de document :
Brevet
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01905132
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 25 octobre 2018 - 15:42:24
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01905132, version 1

Collections

Citation

N. Posseme, O. Joubert, L. Vallier. Procédé microélectronique de gravure d'une couche. France, Patent n° : DD 14025 VR,. 2012. ⟨hal-01905132⟩

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