Brevet
Année : 2012
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01905132
Soumis le : jeudi 25 octobre 2018-15:42:24
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:21:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01905132 , version 1
Citer
N. Posseme, O. Joubert, L. Vallier. Procédé microélectronique de gravure d'une couche. France, Patent n° : DD 14025 VR,. 2012. ⟨hal-01905132⟩
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