ICP plasmas treatment of 2D materials: example of graphene - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

ICP plasmas treatment of 2D materials: example of graphene

Domaines

Physique [physics]

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882928

Soumis le : jeudi 27 septembre 2018-15:14:40

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:00:45

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01882928 , version 1 (27-09-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882928 , version 1

Citer

G. Cunge, D. Ferrah, D Marinov, J Zapatas, C. Petit-Etienne, et al.. ICP plasmas treatment of 2D materials: example of graphene. Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), May 2016, grenoble, France. ⟨hal-01882928⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS LTM PLASMA_ETCHING DRT LETI CEA-GRE
49 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More