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Communication dans un congrès

ICP plasmas treatment of 2D materials: example of graphene

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882928
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 15:14:40
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:17

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882928, version 1

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Citation

G. Cunge, D. Ferrah, D Marinov, J Zapatas, C. Petit-Etienne, et al.. ICP plasmas treatment of 2D materials: example of graphene. Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), May 2016, grenoble, France. ⟨hal-01882928⟩

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