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On the way to selectively deposit dielectrics in plasma assisted ALD mode

Type de document :
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Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882784
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 13:58:18
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:12

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882784, version 1

Collections

Citation

R. Vallat, R. Gassilloud, Corentin Vallée. On the way to selectively deposit dielectrics in plasma assisted ALD mode. ALD 2016, 2016, Dublin, Ireland. ⟨hal-01882784⟩

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