Poster De Conférence
Année : 2016
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882784
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018-13:58:18
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:08:45
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01882784 , version 1
Citer
R. Vallat, R. Gassilloud, Corentin Vallée. On the way to selectively deposit dielectrics in plasma assisted ALD mode. ALD 2016, 2016, Dublin, Ireland. ⟨hal-01882784⟩
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