Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Communication dans un congrès

Origin of stress in sputtered CdTe and ZnS films: influence of sputter Ion mass on mechanical and chemical layer properties

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882776
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 13:53:11
Dernière modification le : mardi 6 octobre 2020 - 16:30:03

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882776, version 1

Collections

Citation

S. Liénard, D. Sam-Giao, A. Kerlain, F. Boulard, Corentin Vallée. Origin of stress in sputtered CdTe and ZnS films: influence of sputter Ion mass on mechanical and chemical layer properties. AVS 2016, 2016, Nashville (USA), United States. ⟨hal-01882776⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

15