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Communication dans un congrès

Plasma Enhanced CVD processes: Dual Frequency with pulsing of liquid precursors and PEALD for Selective Deposition

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882763
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 13:27:42
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:17

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882763, version 1

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Citation

Corentin Vallée, R. Gassilloud, R. Vallat, F. Piallat, A. Aoukar, et al.. Plasma Enhanced CVD processes: Dual Frequency with pulsing of liquid precursors and PEALD for Selective Deposition. AVS 2016, 2016, Nashville (USA), United States. ⟨hal-01882763⟩

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