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Communication dans un congrès

Improvement of Electron Beam Lithography modeling for overdose exposures by using Dill transformation

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882467
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 09:31:53
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:17

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Mohamed Abaidi, Mohamed Saib, Jean-Hervé Tortai, Patrick Schiavone. Improvement of Electron Beam Lithography modeling for overdose exposures by using Dill transformation. SPIE Photomask Technology, 2016, San Jose, United States. ⟨10.1117/12.2240928⟩. ⟨hal-01882467⟩

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