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Characterization and Development of High Dose Implanted Resist Stripping Processes

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882437
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 09:03:30
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:17

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Marion Croisy, Cécile Jenny, Claire Richard, Denis Guiheux, Alain Campo, et al.. Characterization and Development of High Dose Implanted Resist Stripping Processes. Solid State Phenomena, Trans Tech Publications Ltd 2016, 255, pp.111 - 116. ⟨10.4028/www.scientific.net/SSP.255.111⟩. ⟨hal-01882437⟩

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