Article Dans Une Revue
Solid State Phenomena
Année : 2016
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882437
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018-09:03:30
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:17:39
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01882437 , version 1
- DOI : 10.4028/www.scientific.net/SSP.255.111
Citer
Marion Croisy, Cécile Jenny, Claire Richard, Denis Guiheux, Alain Campo, et al.. Characterization and Development of High Dose Implanted Resist Stripping Processes. Solid State Phenomena, 2016, 255, pp.111 - 116. ⟨10.4028/www.scientific.net/SSP.255.111⟩. ⟨hal-01882437⟩
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