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Communication dans un congrès

DSA pattern transfer with PS-PMMA and silicon-containing block copolymers

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01881984
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 26 septembre 2018 - 14:50:31
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:17

Identifiants

  • HAL Id : hal-01881984, version 1

Citation

S. Böhme, P. Bézard, C. Girardot, J. Garnier, J. Arias-Zapata, et al.. DSA pattern transfer with PS-PMMA and silicon-containing block copolymers. SPIE-Advanced Lithography, San Jose (US), 24-26 October 2016, Oct 2016, San Jose, United States. ⟨hal-01881984⟩

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