Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01878112
Soumis le : jeudi 20 septembre 2018-16:29:43
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01878112 , version 1
Citer
G. Cunge., M. Darnon., J Dubois., P Bezard., O Mourey., et al.. Measuring IVDF through high−aspect holes in ICP plasmas. PESM 2015 (Plasma Etch and Strip in Microtechnology), 2015, Louvain, Belgium. ⟨hal-01878112⟩
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