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Communication dans un congrès

Measuring IVDF through high−aspect holes in ICP plasmas

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01878112
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 20 septembre 2018 - 16:29:43
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01878112, version 1

Collections

Citation

G. Cunge., M. Darnon., J Dubois., P Bezard., O Mourey., et al.. Measuring IVDF through high−aspect holes in ICP plasmas. PESM 2015 (Plasma Etch and Strip in Microtechnology), 2015, Louvain, Belgium. ⟨hal-01878112⟩

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