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Etching mechanisms of graphene nanoribbons in downstream H2 plasmas: Insights from MD simulations

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01878072
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 20 septembre 2018 - 16:03:36
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01878072, version 1

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Citation

A. Davydova, E. Despiau-Pujo, G. Cunge, Db Graves. Etching mechanisms of graphene nanoribbons in downstream H2 plasmas: Insights from MD simulations. J. Phys. D: Appl. Phys. , 2015, pp.195202. ⟨hal-01878072⟩

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