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Communication dans un congrès

Molecular dynamics simulations of plasma-surface interactions for advanced etch processes

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01877976
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 20 septembre 2018 - 15:25:35
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01877976, version 1

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Citation

E. Despiau-Pujo, P. Brichon, O. Joubert. Molecular dynamics simulations of plasma-surface interactions for advanced etch processes. 42nd European Physical Society (EPS) Conference on Plasma Physics, Jun 2015, Lisbonne, Portugal. ⟨hal-01877976⟩

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