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Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Molecular dynamics simulations of plasma-surface interactions for advanced etch processes

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Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01877976

Soumis le : jeudi 20 septembre 2018-15:25:35

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:20:44

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01877976 , version 1 (20-09-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01877976 , version 1

Citer

E. Despiau-Pujo, P. Brichon, O. Joubert. Molecular dynamics simulations of plasma-surface interactions for advanced etch processes. 42nd European Physical Society (EPS) Conference on Plasma Physics, Jun 2015, Lisbonne, Portugal. ⟨hal-01877976⟩

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