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Communication dans un congrès

Oxygen scavenging in TiN/Ta2O5 stack by thin PVD-flashed Al layers for RRAM application.

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01877920
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 20 septembre 2018 - 14:58:44
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01877920, version 1

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Citation

A. Marty, R. Gassilloud, M. Bernard, E. Nolot, S. Favier, et al.. Oxygen scavenging in TiN/Ta2O5 stack by thin PVD-flashed Al layers for RRAM application.. ECASIA, 2015, Granada, Spain. ⟨hal-01877920⟩

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