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Communication dans un congrès

Plasma etching optimization and alignment control of directed self-assembled high-Χ cylindrical PS-PDMS

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01877841
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 20 septembre 2018 - 14:16:10
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01877841, version 1

Citation

S. Böhme, J. Garnier, C. Girardot, J. Arias-Zapata, S. Arnaud, et al.. Plasma etching optimization and alignment control of directed self-assembled high-Χ cylindrical PS-PDMS. European Materials Research Society conference- E-MRS 2015, Spring Meeting, May 2015, Lille, France. ⟨hal-01877841⟩

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