Plasma etching optimization and alignment control of directed self-assembled high-Χ cylindrical PS-PDMS - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Plasma etching optimization and alignment control of directed self-assembled high-Χ cylindrical PS-PDMS

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01877841

Soumis le : jeudi 20 septembre 2018-14:16:10

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:34:25

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Dates et versions

hal-01877841 , version 1 (20-09-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01877841 , version 1

Citer

S. Böhme, J. Garnier, C. Girardot, J. Arias-Zapata, S. Arnaud, et al.. Plasma etching optimization and alignment control of directed self-assembled high-Χ cylindrical PS-PDMS. European Materials Research Society conference- E-MRS 2015, Spring Meeting, May 2015, Lille, France. ⟨hal-01877841⟩

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