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Etching mechanisms of graphene nanoribbons in downstream H 2 plasmas: insights from molecular dynamics simulations

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01877341
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 septembre 2018 - 16:01:37
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

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D Davydova, D Despiau-Pujo, G. Cunge, D Graves. Etching mechanisms of graphene nanoribbons in downstream H 2 plasmas: insights from molecular dynamics simulations. Journal of Physics D: Applied Physics, IOP Publishing, 2015, 48 (19), ⟨10.1088/0022−3727/48/19/195202⟩. ⟨hal-01877341⟩

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