Article Dans Une Revue
ACS Applied Materials & Interfaces
Année : 2017
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01825510
Soumis le : jeudi 28 juin 2018-13:34:06
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:18:50
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01825510 , version 1
Citer
A. Legrain, G. Fleury, M. Mumtaz, C. Navarro, J. Arias-Zapata, et al.. Straightforward integration flow of a silicon containing block copolymer for line-space patterning. ACS Applied Materials & Interfaces, 2017, vol. 9, p. 43043. ⟨hal-01825510⟩
Collections
44
Consultations
0
Téléchargements