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Straightforward integration flow of a silicon containing block copolymer for line-space patterning

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01825510
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 28 juin 2018 - 13:34:06
Dernière modification le : mardi 6 octobre 2020 - 16:30:04

Identifiants

  • HAL Id : hal-01825510, version 1

Citation

A. Legrain, G. Fleury, M. Mumtaz, C. Navarro, J. Arias-Zapata, et al.. Straightforward integration flow of a silicon containing block copolymer for line-space patterning. ACS Applied Materials & Interfaces, Washington, D.C. : American Chemical Society, 2017, vol. 9, p. 43043. ⟨hal-01825510⟩

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