Communication Dans Un Congrès
Année : 2017
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01825056
Soumis le : jeudi 28 juin 2018-09:03:43
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01825056 , version 1
Citer
A. Chaker, P. Szkutnik, J. Pointet, P. Gonon, Corentin Vallée, et al.. High capacitance 3D MIM structures achieved by ALD deposited TiO2 for advanced DRAM applications. ALD 2017, 2017, Denver, United States. ⟨hal-01825056⟩
80
Consultations
0
Téléchargements