Contour based metrology: “make measurable what is not so" - Micro and Nanotechnologies for health
Communication Dans Un Congrès Année : 2020

Contour based metrology: “make measurable what is not so"

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Citer

Bertrand Le-Gratiet, Regis Bouyssou, Julien Ducote, Alain Ostrovsky, Charlotte Beylier, et al.. Contour based metrology: “make measurable what is not so". Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIV, Feb 2020, San Jose, United States. pp.3, ⟨10.1117/12.2551907⟩. ⟨hal-03093860⟩

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