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	hal-00020931v1 Article dans une revue Vincent Farys, Christelle Charpin-Nicolle, Marieke Richard, Jean-Yves Robic, Viviane Muffato et al. Printability of nonsmoothed buried defects in extreme ultraviolet lithography mask blanks Journal of Vacuum Science and Technology B, 2005, 23, pp.2860-2865. <10.1116/1.2135293>
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