Rechercher

		Pertinence Auteur A→Z Auteur Z→A Titre A→Z Titre Z→A Date de publication croissante Date de publication décroissante Date de dépôt croissante Date de dépôt décroissante 30 résultats par page 50 résultats par page 100 résultats par page Pour les 5 documents Exporter XML-TEI BibTeX EndNote CSV PDF Export avancé... Syndication RSS ATOM
	tel-00147894v1 Thèse Anne-Laure Charley. Conception, montage et caractérisation d'un interféromètre achromatique pour l'étude de la lithographie à immersion à 193nm Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Institut National Polytechnique de Grenoble - INPG, 2006. Français
	hal-00137882v1 Communication dans un congrès Anne-Laure Charley, Philippe Bandelier, Bénédicte Mortini, Alexandre Lagrange, Olivier Lartigue et al. 193nm immersion lithography studies with a double grating high NA achromatic interferometer 2005, Fujifilm, pp.1111, 2005
	hal-00020920v1 Article dans une revue Anne-Laure Charley, Alexandre Lagrange, Olivier Lartigue, Julia Simon, Philippe Thony et al. Hyper high numerical aperature achromatic interferometer for immersion lithography at 193 nm Journal of Vacuum Science and Technology B, 2005, 23, pp.2668-2674. <10.1116/1.2135295>
	hal-00080602v1 Communication dans un congrès Anne-Laure Charley, Alexandre Lagrange, Olivier Lartigue, Philippe Bandelier, Marianne Derouard et al. Liquid immersion lithography at 193 nm using a high-NA achromatic interferometer Donis G. Flagello. 2006, SPIE, pp.683-691, 2006, <10.1117/12.654404>
	hal-00137871v1 Article dans une revue Anne-Laure Charley, Alexandre Lagrange, Olivier Lartigue, Julia Simon, Philippe Thony et al. Hyper high NA achromatic interferometer for immersion lithography at 193nm Journal of Vacuum Science and Technology B, 2005, 23, pp.2668-2674. <10.1116/1.2135295>
		Pertinence Auteur A→Z Auteur Z→A Titre A→Z Titre Z→A Date de publication croissante Date de publication décroissante Date de dépôt croissante Date de dépôt décroissante 30 résultats par page 50 résultats par page 100 résultats par page Pour les 5 documents Exporter XML-TEI BibTeX EndNote CSV PDF Export avancé... Syndication RSS ATOM