Probing impact on pad moisture tightness: A challenge for pad size reduction - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Probing impact on pad moisture tightness: A challenge for pad size reduction

Résumé

This paper underlines the damages induced by probing on narrow pads reliability of specifically designed test structures placed on dicing streets and indicates that probing during electrical test steps provokes detrimental cracks diving from the passivation through the BEOL layers providing a path for moisture ingress.
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-02362746 , version 1 (28-02-2024)

Identifiants

Citer

Matthias Vidal-Dhô, Quentin Hubert, Patrice Gonon, Philippe Delorme, Jonathan Jacquot, et al.. Probing impact on pad moisture tightness: A challenge for pad size reduction. Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS), 2019, Kita-Kyushu, Japan. pp.176-179, ⟨10.1109/ICMTS.2019.8730990⟩. ⟨hal-02362746⟩
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