A novel process to realize 4H-SiC nanowire arrays - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

A novel process to realize 4H-SiC nanowire arrays

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344211

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-08:01:44

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:23

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02344211 , version 1 (04-11-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02344211 , version 1

Citer

Maria Androulidaki, Maximilien Cottat, Antonios Stavrinidis, Cécile Gourgon, Camille Petit-Etienne, et al.. A novel process to realize 4H-SiC nanowire arrays. MNE 2019, Sep 2019, Rhodes, Greece. ⟨hal-02344211⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UNIV-SAVOIE UGA CNRS IMEP-LAHC LTM LITHOGRAPHY PLASMA_ETCHING CEA-DRF CROMA
69 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More