Atomic Layer processing using cold plasma - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Atomic Layer processing using cold plasma

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02338922 , version 1 (30-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338922 , version 1

Citer

Vallée Christophe. Atomic Layer processing using cold plasma. AIST, Mar 2019, Tsukuba, Japan. ⟨hal-02338922⟩
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