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Communication dans un congrès
pARXPS study of GeSbTe surface oxidation
B. Pelissier 1
Auteur
1
LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique (LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5129 (France)
- UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
2
ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles] (850 rue Jean Monnet BP 16 38926 Crolles - France)
Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées
http://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02337696
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 29 octobre 2019 - 15:39:58
Dernière modification le : mardi 23 juin 2020 - 07:26:07
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 29 octobre 2019 - 15:39:58
Dernière modification le : mardi 23 juin 2020 - 07:26:07
Identifiants
- HAL Id : hal-02337696, version 1
Citation
Ludovic Goffart, C. Vallee, J -P. Reynard, G. Navarro, B. Pelissier. pARXPS study of GeSbTe surface oxidation. AVS 66th international symposium, Oct 2019, Columbus, United States. ⟨hal-02337696⟩
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