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Communication dans un congrès

A brief overview on Molecular Dynamics simulations of plasma-surface interaction in reactive ion etching

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

http://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02337554
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 29 octobre 2019 - 15:03:44
Dernière modification le : mardi 23 juin 2020 - 07:26:07

Identifiants

  • HAL Id : hal-02337554, version 1

Collections

CNRS | CEA | LTM | UGA

Citation

Emilie Despiau-Pujo. A brief overview on Molecular Dynamics simulations of plasma-surface interaction in reactive ion etching. 66th American Vacuum Society (AVS) International Symposium, Oct 2019, Columbus, United States. ⟨hal-02337554⟩

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