Scaling of Trigate nanowire (NW) MOSFETs to sub-7nm width: 300K transition to Single Electron Transistor

V. Deshpande; S. Barraud; X. Jehl; R. Wacquez; M. Vinet; R. Coquand; B. Roche; B. Voisin; F. Triozon; C. Vizioz; L. Tosti; B. Previtali; P. Perreau; T. Poiroux; M. Sanquer; O. Faynot

Home
Browse by search
Submit
Browse
Folder

By research structure UGA

By year

2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010

by decade

Browse latest submissions

Link

Scaling of Trigate nanowire (NW) MOSFETs to sub-7nm width: 300K transition to Single Electron Transistor

V. Deshpande ¹ S. Barraud ¹ X. Jehl ² R. Wacquez ³ M. Vinet ¹ R. Coquand ⁴ B. Roche ² B. Voisin ² F. Triozon ¹ C. Vizioz ¹ L. Tosti ¹ B. Previtali ¹ P. Perreau ⁴ T. Poiroux ¹ M. Sanquer ² O. Faynot ¹

1 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information

2 LaTEQS - Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité

PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS

3 CEA Tech PACA

4 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

V. Deshpande ¹ AuthorId : 651134
Author

S. Barraud ¹ AuthorId : 191692
Author

X. Jehl ² AuthorId : 513489

Author IdHAL : xavier-jehl ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5342-9818

R. Wacquez ³ AuthorId : 533104
Author

M. Vinet ¹ AuthorId : 87520
Author

R. Coquand ⁴ AuthorId : 1025000
Author

B. Roche ² AuthorId : 665734
Author

B. Voisin ² AuthorId : 1014969
Author

F. Triozon ¹ AuthorId : 73694
Author

C. Vizioz ¹ AuthorId : 491711
Author

L. Tosti ¹ AuthorId : 694395
Author

B. Previtali ¹ AuthorId : 621446
Author

P. Perreau ⁴ AuthorId : 149688
Author

T. Poiroux ¹ AuthorId : 622235
Author

M. Sanquer ² AuthorId : 169300

Author IdHAL : marc-sanquer ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/marc.sanquer@cea.fr ORCID : https://orcid.org/0000-0001-6055-4046

O. Faynot ¹ AuthorId : 181865
Author

1 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 40214

DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France) StructId : 440043
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016
UGA - Université Grenoble Alpes (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543

2 LaTEQS - Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité (CEA 17 rue des Martyrs F-38054 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 40361

PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS (CEA 17 rue des Martyrs F-38054 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 460265
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France) StructId : 555292
  - DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale Fundamental Research Division CEA Saclay 91191 Gif-sur-Yvette - France) StructId : 465913
    - CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016

3 CEA Tech PACA (CEA Cadarache 13108 Saint Paul lez Durance - France) StructId : 473225

CEA-TECH-Reg - CEA Tech en régions : DRT (CEA Grenoble 17 rue des Martyrs 38054 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 255534
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France) StructId : 440043
  - CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016

4 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (Site Grenoble : Grenoble INP - Minatec : 3, Parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1 / Site Chambéry : Université de Savoie - F73376 Le Bourget du Lac Cedex - France) StructId : 48098

CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5130 (France) StructId : 441569
USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry] - Université Savoie Mont Blanc (27, rue Marcoz - 73000 Chambéry - France) StructId : 432896
INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France) StructId : 300275
UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 51016
Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France) StructId : 89889
UGA - Université Grenoble Alpes (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543

Document type :

Journal articles

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Complete list of metadatas

http://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02009777
Contributor : Marc Sanquer <>
Submitted on : Wednesday, February 6, 2019 - 3:38:04 PM
Last modification on : Tuesday, November 5, 2019 - 1:58:39 PM

Identifiers

HAL Id : hal-02009777, version 1

Collections

Citation

V. Deshpande, S. Barraud, X. Jehl, R. Wacquez, M. Vinet, et al.. Scaling of Trigate nanowire (NW) MOSFETs to sub-7nm width: 300K transition to Single Electron Transistor. Solid-State Electronics, Elsevier, 2013, 84, pp.179-184. ⟨hal-02009777⟩

Scaling of Trigate nanowire (NW) MOSFETs to sub-7nm width: 300K transition to Single Electron Transistor

Identifiers

Collections

Citation

Export

Metrics

48

Scaling of Trigate nanowire (NW) MOSFETs to sub-7nm width: 300K transition to Single Electron Transistor

Identifiers

Collections

Citation

Export

Share

Metrics

48