Nanoscale Surface and Sub-Surface Chemical Analysis of SiGe Nanowires
W. Hourani
(1)
,
E. Martinez
(2)
,
P. Periwal
(3)
,
G. Patriarche
(4)
,
F. Bassani
(3)
,
J.M. Fabbri
,
T. Baron
(3)
1
FEMTO-ST -
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
4 LPN - Laboratoire de photonique et de nanostructures
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
4 LPN - Laboratoire de photonique et de nanostructures
E. Martinez
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1287023
- IdHAL : eugenie-martinez
- ORCID : 0000-0003-0889-2237
G. Patriarche
- Fonction : Auteur
- PersonId : 749659
- IdHAL : gilles-patriarche
- ORCID : 0000-0002-3917-2470
- IdRef : 085221872
F. Bassani
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1188804
- IdHAL : franck-bassani
J.M. Fabbri
- Fonction : Auteur
T. Baron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739925
- IdHAL : thierry-baron
- ORCID : 0000-0001-5005-6596
- IdRef : 130661813