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Chemical characterization of III–V heterostructures in 3D architecture

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http://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01991881
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 24 janvier 2019 - 10:31:40
Dernière modification le : mardi 23 juin 2020 - 07:26:07

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V. Gorbenko, A. Grenier, G. Audoit, R. Cipro, M. Martin, et al.. Chemical characterization of III–V heterostructures in 3D architecture. Microelectronic Engineering, Elsevier, 2015, 147, pp.219-222. ⟨10.1016/j.mee.2015.04.107⟩. ⟨hal-01991881⟩

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