InAs/GaSb thin layers directly grown on nominal (001)-Si substrate by MOCVD for the fabrication of InAs FINFET
Tiphaine Cerba
(1, 2, 3)
,
Mickaël Martin
(1)
,
Jeremy Moeyaert
(1)
,
Reynald Alcotte
(1)
,
Bassem Salem
(1)
,
Etienne Eustache
(1)
,
Philippe Bézard
(1)
,
Xavier Chevalier
(4)
,
Geoffrey Lombard
(4)
,
Franck Bassani
(1)
,
Sylvain David
(1)
,
Jean-Luc Rouvière
(5)
,
George Beainy
(1)
,
Laurent Cerutti
(6, 7)
,
Jean-Baptiste Rodriguez
(6, 7)
,
Eric Tournié
(6, 7)
,
Hervé Boutry
(2)
,
Maryline Bawedin
(3)
,
Thierry Baron
(1)
1
LTM -
Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
4 ARKEMA - Arkema
5 LEMMA - Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée
6 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
7 NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
4 ARKEMA - Arkema
5 LEMMA - Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée
6 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
7 NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
Tiphaine Cerba
- Fonction : Auteur
Bassem Salem
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174867
- IdHAL : bassem-salem
- ORCID : 0000-0001-8038-3205
- IdRef : 092216625
Etienne Eustache
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1185535
Franck Bassani
- Fonction : Auteur
- PersonId : 766293
- ORCID : 0000-0001-8688-1328
Sylvain David
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1086
- IdHAL : sylvain-david
Jean-Luc Rouvière
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171210
- IdHAL : jean-luc-rouviere
- ORCID : 0000-0001-8731-3074
- IdRef : 086257374
Laurent Cerutti
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18385
- IdHAL : laurent-cerutti
- ORCID : 0000-0002-1758-7130
- IdRef : 069263302
Jean-Baptiste Rodriguez
- Fonction : Auteur
- PersonId : 15914
- IdHAL : bobjb
- ORCID : 0000-0002-1930-1984
- IdRef : 074248979
Eric Tournié
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18604
- IdHAL : eric-tournie
- ORCID : 0000-0002-8177-0810
- IdRef : 077085035
Thierry Baron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739925
- IdHAL : thierry-baron
- ORCID : 0000-0001-5005-6596
- IdRef : 130661813