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Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Real time monitoring of NF3, NH3 and HF densities in the downstream of a soft-etch reactor by VUV Broad-Band absorption spectroscopy

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Physique [physics]

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Soumis le : mardi 20 novembre 2018-09:40:23

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:17:26

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Dates et versions

hal-01927704 , version 1 (20-11-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01927704 , version 1

Citer

R. Soriano Casero, L. Vallier, G. Cunge, O. Joubert, N. Sadeghi. Real time monitoring of NF3, NH3 and HF densities in the downstream of a soft-etch reactor by VUV Broad-Band absorption spectroscopy. 12th Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics, Apr 2017, Zlatibor, Serbia. ⟨hal-01927704⟩

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