XPS investigations of graphene surface cleaning using H 2 - and Cl 2 -based inductively coupled plasma - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Surface and Interface Analysis Année : 2016

XPS investigations of graphene surface cleaning using H 2 - and Cl 2 -based inductively coupled plasma

Domaines

Physique [physics]

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01881979

Soumis le : mercredi 26 septembre 2018-14:45:46

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:39:55

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Dates et versions

hal-01881979 , version 1 (26-09-2018)

Identifiants

Citer

D. Ferrah, O. Renault, C. Petit-Etienne, H. Okuno, C. Berne, et al.. XPS investigations of graphene surface cleaning using H 2 - and Cl 2 -based inductively coupled plasma. Surface and Interface Analysis, 2016, 48 (7), pp.451 - 455. ⟨10.1002/sia.6010⟩. ⟨hal-01881979⟩

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