Straightforward integration flow of a silicon containing block copolymer for line-space patterning - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue ACS Applied Materials & Interfaces Année : 2017

Straightforward integration flow of a silicon containing block copolymer for line-space patterning

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01825510

Soumis le : jeudi 28 juin 2018-13:34:06

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

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Dates et versions

hal-01825510 , version 1 (28-06-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01825510 , version 1

Citer

A. Legrain, G. Fleury, M. Mumtaz, C. Navarro, J. Arias-Zapata, et al.. Straightforward integration flow of a silicon containing block copolymer for line-space patterning. ACS Applied Materials & Interfaces, 2017, vol. 9, p. 43043. ⟨hal-01825510⟩

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