Article Dans Une Revue Proc. of the European Microwave Association Année : 2008

Characterization of porous ULK SiOCH and impact on signal propagation for on-chip interconnects of the 45 nm node

M. Gallitre
  • Fonction : Auteur
B. Blampey
  • Fonction : Auteur
IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
B. Fléchet
A. Farcy
  • Fonction : Auteur
V. Arnal
  • Fonction : Auteur
C. Bermond
IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
CV
T. Lacrevaz
CV
J. Torres
  • Fonction : Auteur

Domaines

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https://hal.science/hal-00397420

Soumis le : lundi 22 juin 2009-10:11:47

Dernière modification le : samedi 27 septembre 2025-20:00:21

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Dates et versions

hal-00397420 , version 1 (22-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00397420 , version 1

Citer

M. Gallitre, B. Blampey, B. Fléchet, A. Farcy, V. Arnal, et al.. Characterization of porous ULK SiOCH and impact on signal propagation for on-chip interconnects of the 45 nm node. Proc. of the European Microwave Association, 2008, 4, pp.131-138. ⟨hal-00397420⟩

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